离子去胶机

离子去胶机 型号：PR-3

通过等离子体方法，对陶瓷片、硅片等衬底材料图形上的光刻胶进行干法去除。设备为单室真空系统，主要由真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、控制系统、冷却系统、报警系统等部分组成。  
离子去胶机射频电源采用RF500W电源控制。  
气路系统采用两台浮子流量计控制气体进气。 
  腔室结构：卧式、纯石英 
  真空室规格：F210´300mm 
  限真空：1Pa（环境湿度≤55%） 
  真空系统:机械泵 
  大装片直径: F4英寸 
   大装片容量：4英寸 25片/炉 
  去胶速率: ～500A/min 
  去胶不均匀性：≤±5％ (φ4吋范围内) 
  操作方式:手动方式 
用户可选配全自动控制方式

产品名称：标准型匀胶机 台式匀胶机 产品型号：SC-1B

标准型匀胶机  台式匀胶机 型号：SC-1B

SC-1B标准型匀胶机主要适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃等工艺制版及表面涂覆，各种光刻胶表面膜制备。  
    采用变频技术控制旋涂速度与时间，有效控制胶的厚度、均一性。可应用于各研究领域前期研发及小规模生产。 
主 要 技 术 指 标1. 控制显示：LED数字控制器，用户可通过控制器进行参数修改设置 
2. 匀胶模式：可同时输入七组数值，即转速及匀胶时间可任意设置为Ⅰ档、Ⅱ挡、……Ⅶ档，转速启动后先低速运转（Ⅰ档），然后自动执行Ⅱ档、……Ⅶ档，直至达到高速运转。 
3．匀胶时间：1～9999s任意时间可设置 
4．匀胶速度：0～8000rmp可调 
5．旋转加速度：0～8000rpm/sec 由低速到高速加速时间0.1s～0.5s 
6．转速稳定度：±1rmp 
7．涂胶均匀性：±3% 
8．可镀膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞） 
9．基片厚度：  ≤5mm 
 配 置 参 数1．设备配置Ф200mm接胶装置 
2．电机功率：90W，额定转速8000rmp 
3．真空泵：FY-1C旋片式真空泵，抽速60L/min(用户可选配无油型真空泵) 
4．样片托：标配1英寸一个，2英寸一个，其它规格按要求定制 
5．输入电源： AC220V/240V  50HZ 
6．整机功率：100W 
7．机身尺寸： 280×360×240mm 
8．机身重量：10Kg

产品名称：自动运动粘度毛细管清洗机 产品型号：DSL-265H  自动运动粘度毛细管清洗机 型号： DSL-265H       GB 265、ASTM D445       产品简介   主要技术参数及指标   自动运动粘度毛细管清洗机适用于自动清洗毛细管粘度   计。该仪器使用方式快捷、简便、易操作。   设定恒温水浴所需清洗温度，毛细管内残液在高温水浴   内流动性增加。开启真空泵，洗液瓶内清洗液在真空泵作用   下冲洗毛细管内残液，将粘度计内残液排出、以达到清洗毛   细管的目的。清洗干净以后，毛细管粘度计在高温恒温水浴   内自动通风干燥。   性能特点     l 仪器配备7寸高分辨率液晶触摸显示屏、触摸屏按键控制。   l 全中文人机操作界面、汉字显示，并配有提示框。实时显示仪器所处的输入输出状态，操   作员可以随时了解仪器执行的动作及所处状态，直观易操作。   l 仪器采用方形不锈钢浴槽，前置观察玻璃窗，可随时观察粘度管的清洁度。   l 恒温浴自动升温、控温，恒温浴搅拌均匀，温度波动小。   l 仪器配备双洗液瓶及一个废液瓶。废液瓶充满时，自动报警提示。   l 可根据清洗难易程度，设定所需的粘度计恒温、清洗及干燥时间。清洗烘干结束后，报警提示。   1. 工作电源：AC220V、50Hz   2. 显示方式：7寸高分辨率液晶触摸显示屏   3. 清洗浴孔：6孔式，清洗粘度计支数：6支   4. 清洗粘度计类型：品氏或其他类型   5. 恒温浴及烘干温度范围：室温~+90℃，任意设定   6. 恒温浴控温精度：±0.5℃   7. 洗液瓶：2个，双洗液   8. 废液瓶：1个，配液位报警功能   9. 预热、抽吸、清洗、烘干时间可调   10. 抽吸泵：≥2升/分钟真空泵