时间:

请输入关键字:

联系我们

  • 北京同德创业科技有限公司
  • 联系人:苏猛猛
  • 手机:17701329715
  • 电话:18910534055
  • 传真:010-68467699
  • 地址:北京市通州区兴贸三街18号院
  • 邮编:101100
  • 网址:www.5117sell.net
  • 邮箱:1579845789@qq.com

首页 > 产品展示 > 专用仪器 > 专用仪器 > 射频磁控溅射镀膜装置

产品名称:射频磁控溅射镀膜装置

产品型号:RT-RM-1

产品报价:点击这里给我发消息

RT-RM-1射频磁控溅射镀膜装置的详细资料:

射频磁控溅射镀膜装置主要用途:本设备主要用于大专院校研究和开发纳米级单层膜;如各种硬质膜、金属膜;也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以进行直接溅射,亦可以实现反应溅射。

 射频磁控溅射镀膜装置 型号:RT-RM-1

 

主要用途:本设备主要用于大专院校研究和开发纳米级单层膜;如各种硬质膜、金属膜;也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以进行直接溅射,亦可以实现反应溅射。

射频磁控溅射镀膜装置

主要特点:结构简捷、操作简便,真空度维护高,安全可靠。

 

镀膜机应安装在干净无尘埃、无腐蚀性气体的室内,并具备清洁水源、及220V的稳定电压等条件的地方。

1、地面的基本水平度要经过调整,不得高低不平;

2、环境温度:10℃~30℃;

3、相对湿度:不大于75%

4、耗水量(进水温度≤25℃,2.5Kg≥水压≥1.5Kg):约0.2T/h

5、水质要求:

矽酸硬度<6度,PH值:78,电导率:200us/cm,沉积率:<200mg/L

6、电压: 220V50HZ

电压波动范围: 198231V

频率波动范围:4951Hz;

7、水压:0.31Kg/cm20.030.1MPa/cm2;

8、充入气体纯度99.9%或以上;

9、镀膜用耗材纯度99.9%或以上。

 

设备规格参数

1.1、溅射处理室:

       1、钟罩:内径225mm×高度260mm;

       2、试样台:直径80mm(大);

       3、试样旋转:静止;

       4、挡板:手动;

       5、衬底加热器:不锈钢加热器(DC24V);

       6、衬底温度范围:室温~200℃;

       7、衬底可调距离:20mm~60mm;

       8、溅射室限真空:0.5Pa

1.2、真空系统:

       1、抽气系统:由机械泵组成的一级真空系统;抽气速率:4升/S

       2、真空检测:电阻真空计、电阻规;

       3、常用真空度:1~20Pa

       4、操作:手动

1.3、溅射电源:

1、射频电源:频率13.560MHZ,功率:500W,用表指示;

2、阻抗匹配器范围:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω;

3、供电:AC 220V;

4、冷却方式:风冷;

  1.4、 磁控靶:

1、靶材直径:Ф50mm、 一个永磁靶;

2、靶材厚度:3~6mm;

1.5、进气系统:2路转子流量计进气,

1.6、电源要求:AC 220V  50Hz  10A

1.7、气体要求:氩气--纯度99.9%(样品有特殊要求时使用高纯)

1.8、冷却要求:靶体水冷,溅射电源风冷

1.9、体积重量:体积:L550mm×W680mm×H1480mm;约120kg

 

 

产品名称:精密数显直流稳流稳压电源 直流稳流稳压电源
产品型号:WY305/3010 

精密数显直流稳流稳压电源 直流稳流稳压电源 型号:WY305/3010  
产品简介: 
高稳定度直流线性稳流稳压型功率电源,并带四位半数显电流表、电压表监测电流、电压,源表一体化。  

技术特性: 
1.输出范围:0-30V/0-15A 
2.满度时输出电压漂移:±0.01%读数/3min  
3.满度时输出电流漂移:±0.01%读数/3min 
4.电压表量程:5V/10V/25V/35V 
5.电流表量程:1.5A/3A/7.5A/15A(0.02%读数+0.01%量程+1字) 
6.电压电流表基本准确度: 
7.电压表分辨力:0.0001V(0.0000V-10.000V); 0.001V(10.000V-30.000V) 
8.电流表分辨力:0.0001A(0.0000A-10.000A),0.001A(10.000A-15.000A) 
 

 如果你对RT-RM-1射频磁控溅射镀膜装置感兴趣,想了解更详细的产品信息,填写下表直接与厂家联系:
 相关同类产品:
MP-400自动熔点仪  MP-300C全自动视频熔点仪器 
MP-350全自动熔点仪器  TH-9001炭黑含量测试仪器 
DSC-500T差示扫描量热测试仪  UL1000超声波液(物)位计 
1603A(SS-1)深视力测试仪  HAC-24A自动氮吹浓缩仪 全自动密闭氮吹仪 
DSL-092ZD自动喷气燃料冰点测定仪DSL-092ZD  CJ-1雨量计专业数据采集器 
公司主要供应超声波水深仪,烟气湿度仪,酸化吹气仪,明胶冻力仪,气体采样钢瓶,拍打式样品均质器等产品
电话:
18910534055
手机:
17701329715
传真:
010-68467699
点击这里给我发消息 点击这里给我发消息 点击这里给我发消息 点击这里给我发消息
 

化工仪器网

推荐收藏该企业网站