杂质浓度测试仪
更新时间:2020-06-09 | 点击率:204
产品简介 原理:根据硅、锗单晶的迁移率、电阻率和杂质浓度的关系,可直接测量、计算出晶体内的杂质浓度。 适用范围:它适合于测量横截面尺寸是可测量的,而且棒的长度大于横截面线度的有规则的长棒,例如横断面为圆形、正方形、长方形或梯形的单晶或多晶锭。 用途:根据测量沿锭长杂质浓度的分布状况决定产品的合格部分,通过杂质浓度的直接测量,决定晶体生长过程中的掺杂数量。 样品可在常温或低温下测量。 显示方式:仪器连接PC机,通过测试软件计算,用对数坐标的方式来显示杂质浓度(含次方数)沿锭长的分布曲线,可对曲线图进行打印和保存。 测量范围: 可测晶体电阻率:0.005-3000Ω·cm。 直流数字电压表测量范围:0-199.99mV,灵敏度:10μA。 |